去離子水的特點：
1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→后置保安過濾器→用水點。
（特點：污染比較大，自動化程度低，初期投入低）
2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混床→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）
3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的*新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
（特點：環保，自動化程度高，初期投入大，價格相對比較貴）
去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起**的繁殖。
在半導體行業中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。
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