去離子水的處理步驟：
從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質
2、然后高壓通過反滲透膜
3、*后一般還要經過一步紫外**以去除水中的微生物
4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程*高電阻率可達到18兆。
相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。
去離子水的特點：
1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→后置保安過濾器→用水點。
（特點：污染比較大，自動化程度低，初期投入低）
2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混床→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）
3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的*新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：
原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
（特點：環保，自動化程度高，初期投入大，價格相對比較貴）
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